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一种二维微动平台装置制造方法及图纸
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下载一种二维微动平台装置的技术资料
文档序号:13247922
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本发明公开了一种二维微动平台的装置,包括电磁驱动部分、笼式结构部分和基座。电磁驱动部分,包括线圈及其固定部件:线圈骨架和支撑架,和磁钢及其固定部件:方板。笼式结构部分,包括48根弹性钢丝、底座和平台,底座上表面与平台下表面均打孔与弹性钢丝配...
该专利属于北京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京邮电大学授权不得商用。
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