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本发明涉及基于共振光隧穿效应原理制作的加速度检测器及检测方法；提出了一种利用共振光隧穿效应原理上高分辨率的特点，测量加速度的新型结构的加速度检测器；所采用的技术方案为：一种基于共振光隧穿效应的加速度检测器，包括固定框、弹性悬臂梁和质量块，可...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

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