温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种芯片深沟腐蚀装置，包括：酸槽；设置在酸槽内的芯片容纳盒，芯片容纳盒放置在固定架内，芯片容纳盒用于固定芯片的侧壁上设置有若干过流槽；设置在酸槽侧部的直线往复驱动机构，直线往复驱动机构的运动输出端与固定架连接，直线往复驱动机构带...
该专利属于上海提牛机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海提牛机电设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。