专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
电子科技大学
>
一种基于锗硅异质结工艺的SCR器件制造技术
>技术资料下载
下载一种基于锗硅异质结工艺的SCR器件的技术资料
文档序号:13233927
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于集成电路的静电放电保护技术领域,涉及一种基于锗硅异质结工艺的SCR器件,包括第一种导电类型硅衬底,硅衬底上形成相邻接的第二种导电类型阱区和第一种导电类型阱区,两阱区内分别设有第二种导电类型重掺杂区和第一种导电类型重掺杂区,所述第二...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。