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一种微型机电系统技术领域的微驱动结构的变位增幅装置及其制造方法。本发明装置中，静电式梳状微驱动器是组成变位增幅装置的基本部件，它是由相对成叉指状的固定梳齿部分与可动梳齿部分组成，弹簧梁与增幅部分相连组成结构的增幅杠杆，可动梳齿通过细梁与弹簧...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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