下载金属制研磨衬垫及其制造方法的技术资料

文档序号:13229516

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本发明提供能够增大被加工面中的与催化剂接触或极靠近的区域的金属制研磨衬垫。用于将被加工物(6)的被加工面(6a)以催化剂支援型的化学加工方法进行平滑化加工的金属制研磨衬垫(2)用由过渡金属催化剂构成的金属纤维的压缩成型体来构成。由于该压缩成...
该专利属于国立大学法人名古屋工业大学;新东工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过国立大学法人名古屋工业大学;新东工业株式会社授权不得商用。

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