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本发明实施例涉及一种颗粒物吸附装置及其制备方法，所述吸附装置包括微谐振器，所述微谐振器具有衬底基片，所述衬底基片的上表面溅射沉积有金属薄膜，所述金属薄膜的上表面具有凹陷的空洞。本发明实施例提出的颗粒物吸附装置，通过在金属薄膜的表面设置均匀密...
该专利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司信息科学研究院授权不得商用。

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