下载用于精密量测的多CCD量测设备的技术资料

文档序号:13214559

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本实用新型公开了一种用于精密量测的多CCD量测设备,包括测量平台(6)、工作平台(5)、X向导轨(2)、Y向导轨(3)以及控制器,X向导轨(2)、Y向导轨(3)位于测量平台(6)的上方,X向导轨(2)、Y向导轨(3)均设置有若干条,若干条X...
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