下载一种氮化镓基发光二极管外延结构及其制备方法的技术资料

文档序号:13204976

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本发明提供一种氮化镓基发光二极管外延结构及其制备方法,该外延结构自下至上依次包括:衬底、形核层、缓冲层、N型GaN层、多量子阱有源区、电子阻挡层、P型III族氮化物叠层;所述P型III族氮化物叠层由P型GaN层和P型InxGa1-xN层依次...
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