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一种水浮式超薄玻璃基板测量平台，包括测量机构和与之配合的水浮支撑机构和玻璃运载升降机构，利用水的浮力特性支撑阵列浮块，保证超薄玻璃基板平面各个部位都可以得到有效支撑，有效减小超薄玻璃测量过程中的不合理支撑所造成的人为翘曲变形，保证超薄玻璃测...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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