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劳埃德镜干涉微小尺度测量装置制造方法及图纸
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文档序号:13187823
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本发明公开了一种劳埃德镜干涉微小尺度测量装置。它包括光源、透镜、狭缝装置、平面镜、光电转化装置、数据处理模块、杠杆联动装置和底板,所述光源发出的光经透镜、狭缝装置和平面镜后在光屏上产生干涉条纹,所述光电转化装置的探测头与光屏连接,所述光电转...
该专利属于江汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过江汉大学授权不得商用。
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