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本发明提出了一种大视场投影光刻物镜，采用三种高透材料制成的四组透镜组能够达到2倍放大倍率且视场大的物镜，并且像质量更佳，尤其是波差和像散畸变，此外，采用易加工、成本更低的高透材料，在大幅度提高透过率的同时降低成本。...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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