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麦克风及其制造方法技术
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文档序号:13186660
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本发明提供一种麦克风及其制造方法。该麦克风包括包含穿透孔的基板、布置在基板上并覆盖穿透孔的振动膜以及包括多个空气进口的布置在振动膜上并与振动膜分离的固定电极。振动膜包括布置在基板上并覆盖穿透孔的第一亚振动膜、布置在第一亚振动膜上并包括多个槽...
该专利属于现代自动车株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过现代自动车株式会社授权不得商用。
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