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半导体元件三维安装用填充材料制造技术
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文档序号:13180489
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本发明提供一种在COW工艺中对制造厚度较薄且低外形化的三维半导体集成元件装置方面有用的填充材料、以及形成所述填充材料的固化性组合物。本发明的半导体元件三维安装用填充材料是在将多个半导体元件叠层并集成来制造三维半导体集成元件装置时填补横向邻接...
该专利属于株式会社大赛璐所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大赛璐授权不得商用。
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