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本发明公开了一种自由基共聚聚合法制备的248nm深紫外光刻胶用丙烯酸酯共聚物，属于光刻胶领域。该丙烯酸酯共聚物主要是以对乙酰氧基苯乙烯(ASM)、2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAM)、丙烯酸叔丁酯(TBA)、丙烯酸四氢呋喃酯(TA)...
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