下载一种氧化钨薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:13179476

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本发明公开了一种氧化钨薄膜的制备方法,具体是将阴、阳极浸入电解液中,在电压作用下,电解液形成等离子体并沉积在电极表面,得到氧化钨薄膜。本发明通过温度控制或回流冷却装置控制电解槽内温度,能在常温常压下操作,具有工艺过程简单、生产成本低、易操作...
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