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本发明公开一种制备柔性AZO薄膜的方法，包括以下步骤：a) 将磁控溅射装置的AZO靶材设为两个，并上下相对设置，磁控溅射装置内还设有在AZO靶材之间形成磁场的磁体，磁场方向与靶材垂直；b)将柔性衬底设置于两个靶材的外侧，使柔性衬底与靶材垂直...该专利属于凯盛光伏材料有限公司;中国建筑材料科学研究总院;蚌埠玻璃工业设计研究院所有，仅供学习研究参考，未经过凯盛光伏材料有限公司;中国建筑材料科学研究总院;蚌埠玻璃工业设计研究院授权不得商用。