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本发明公开了一种三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，包括激光器、针孔滤波器和共轴反射式光学系统、实时监控系统，针孔滤波器放置在激光器的输出束腰位置，共轴反射式光学系统包括共轴的反射式双曲面扩束镜、折叠反射镜、抛物面准直反射镜和三个...
该专利属于云南曜祯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南曜祯科技有限公司授权不得商用。

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