下载石墨发热体炉内碳素材料表面均匀沉积SiC涂层的方法的技术资料

文档序号:13170040

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本发明公开了一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面均匀沉积SiC涂层的方法,包括:(1)以石墨发热体加热炉体作为沉积炉,用石墨纸将发热体包覆;(2)抽真空,真空度达到500Pa以下;(3)将内温度升高至1000~1300℃;(4)将三氯甲基硅烷...
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