下载一种无色硬质AR膜及其制备方法的技术资料

文档序号:13162686

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本发明公开了一种无色硬质AR膜及其制备方法,无色硬质AR膜是由Si3N4膜层和SiO2膜层交替循环叠加构成的复合膜;其制备方法是通过蒸发镀膜法或溅射镀膜法在基底表面反复交替镀Si3N4膜层和SiO2膜层,即得AR膜,该AR膜具有高透过率、高...
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