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公开了用于切割叠层结构的系统和方法。本发明公开了一种用于加工具有多个叠层片层的叠层结构的系统和方法。该系统包括可以提供多个具有特定激光特性的激光脉冲串发射的激光组件和可以将每个激光脉冲串发射聚焦到预定焦线上的光学组件。该方法为每个激光脉冲串...
该专利属于康宁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康宁股份有限公司授权不得商用。

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