下载一种真空泡工频老练测控系统及控制方法的技术资料

文档序号:13157038

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本发明公开了一种真空泡工频老练测控系统,该系统包括真空泡密封装置;所述密封装置包括多个试品底座以及与试品底座数量相匹配的密封仓和密封仓驱动机构,所述驱动机构驱动密封仓将被老练真空泡紧压密封在试品底座上;所述密封仓内部设有电极触头,所述电极触...
该专利属于北京华天机电研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京华天机电研究所有限公司授权不得商用。

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