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本实用新型公开了一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器，其具有两支撑悬梁，其六层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热层、隔离层、电极层、敏感膜层，该敏感膜层包括两层以上敏感膜，且各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小、孔隙尺...
该专利属于许磊所有，仅供学习研究参考，未经过许磊授权不得商用。

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