下载一种真空镀膜机用高强度镀膜室的技术资料

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本实用新型公开了一种真空镀膜机用高强度镀膜室,属于滤光片镀膜制造技术领域,解决了传统镀膜机的镀膜室在热工作状态下会发生形变、刚度不满足设计要求的问题。主要包括长方体金属焊接结构、磁控靶,长方体金属焊接结构包括长边侧板、短侧板、上盖以及底板,...
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