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本发明提供一种旋转靶材及其制造方法，该旋转靶材包括管状结构的管体和环状结构的端头，所述端头的内径固定地套设于所述管体的端部。本发明通过连接的办法增加靶材端头的厚度，使端头和管体能够同时被溅射完，提高靶材的利用率，同时具有工艺简单、生产成本低...
该专利属于安泰科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安泰科技股份有限公司授权不得商用。

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