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本发明涉及硬质涂层及其制备技术，具体地说是一种超硬ZrB2涂层及其制备工艺，采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积ZrB2涂层。靶材分别选用金属Zr和化合物ZrB2（纯度均为wt.99.9%），前者用于基体表面的轰击...
该专利属于天津职业技术师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津职业技术师范大学授权不得商用。

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