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本发明公开了一种浸没式光刻兼容温控的分流控制和压力跟随装置及方法。包括主路通道、分流通道和应用通道：主路通道出口分为两路分别连接到分流通道和应用通道，应用通道中再分两路，一路与分流通道合流排液，另一路连接到浸没单元；热交换器流出的浸没液体分...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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