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本发明提供了一种新型的精密冷镜露点仪及其气路集成模块，气路集成模块包括一气路块本体，在气路块本体内部开有各个方向的孔道；还固定有气路接头、排气接头、电磁阀和流量传感器。气路集成模块具有体积小巧、各个单元间气路连接可靠、气路装配简单及装配效率...
该专利属于天津市泓诚泰科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市泓诚泰科技发展有限公司授权不得商用。

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