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本发明提供一种基板的生产作业方法，具备以下工序：位置检测工序，检测设于基板的检测对象物的配置位置；及作业实施工序，基于检测出的配置位置对基板实施预定的生产作业，位置检测工序具有以下步骤：图像取得步骤，根据多个拍摄条件拍摄基板，取得包含配置于...
该专利属于富士机械制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。

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