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一种鳍式场效应管的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底表面形成有若干分立的鳍部;在所述衬底表面形成隔离层,所述隔离层顶部低于所述鳍部顶部且覆盖于鳍部的部分侧壁表面;形成覆盖于所述隔离层表面、鳍部的顶部和侧壁表面的阻挡层;采用氧化处理,将部分厚...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种鳍式场效应管的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底表面形成有若干分立的鳍部;在所述衬底表面形成隔离层,所述隔离层顶部低于所述鳍部顶部且覆盖于鳍部的部分侧壁表面;形成覆盖于所述隔离层表面、鳍部的顶部和侧壁表面的阻挡层;采用氧化处理,将部分厚...