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本发明涉及一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法，包括基板、形成于基板上的金属诱导层、形成于金属诱导层上的阻挡层以及形成于阻挡层上的非晶硅膜层，非晶硅膜层经过金属诱导层的诱导作用转化为多晶硅膜层，多晶硅膜层为有源层。在本发明中，虽然有源层是利...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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