下载双铝工艺的技术资料

文档序号:13112099

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一种双铝工艺,包括:以硅晶片作为衬底,在所述衬底上形成第一氧化层;在所述第一氧化层上形成第一金属层;在所述第一金属层上形成金属间介电层;在所述金属间介电层中刻蚀并填充通孔;在所述金属间介电层上形成第二金属层;在所述第二金属层表面形成钝化层,...
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