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一种低成本曝光机晒架制造技术
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文档序号:13106200
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一种低成本曝光机晒架,涉及到曝光机技术领域。解决现有曝光机晒架结构复杂,加工制造成本高,容易出现微小缝隙,从而无法完成抽真空甚至整个晒架报废的问题,包括有铰接的上层晒架与下层晒架,上下层晒架之间设有气弹簧,使上层晒架与下层晒架能活动的打开与...
该专利属于西华大学所有,仅供学习研究参考,未经过西华大学授权不得商用。
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