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浆料、研磨液组、研磨液、基体的研磨方法以及基体技术
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文档序号:13104230
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一种研磨液,其为含有磨粒、添加剂和水的研磨液,磨粒含有4价金属元素的氢氧化物,且在将该磨粒的含量调整为1.0质量%的第一水分散液中赋予对于波长400nm的光的吸光度大于或等于1.00,并且在所述第一水分散液中赋予对于波长500nm的光的透光...
该专利属于日立化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社授权不得商用。
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