下载微电子机械系统的器件封装结构的技术资料

文档序号:13098508

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本实用新型公开了一种微电子机械系统的器件封装结构,包括基板和盖板,所述基板上设有至少一个第一围框,所述第一围框中用于放置微电子机械系统的器件,所述微电子机械系统的器件与所述基板电性连接,所述第一围框的上表面与所述盖板固定连接。本实用新型使用...
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