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本发明公开了一种基于半导体工艺的巨量太赫兹天线阵，包含104～107量级个太赫兹天线阵元，所述太赫兹天线阵由多个太赫兹阵元进行排列形成，采用CMOS工艺线通过在硅基晶圆上集成太赫兹相控阵天线阵列实现空间能量合成与波束形成，形成高增益的窄波束...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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