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一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法制造方法及图纸
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下载一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法的技术资料
文档序号:13082886
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本发明公开了一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法,包括扫描导轨平台、扫描反射机构和折返补偿机构,扫描反射机构和折返补偿机构均能够在扫描导轨平台上移动,折返补偿机构用于将激光片光源反射至扫描反射机构,扫描反射机构用于将激光片光源反射至三维标...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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