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本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚的检查方法，其特征在于，具备：测量工序，在氧化硅玻璃坩埚的内表面上的测量点，测量红外吸收光谱或拉曼位移；及判断工序，基于所得的光谱，预测在所述测量点是否会产生表面缺陷部位，判断所述氧化硅玻璃坩埚的品质。...
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