下载制造用于EUV光刻法的掺杂钛的石英玻璃的方法和据此制成的坯料的技术资料

文档序号:13062551

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存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色,由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti-掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少,有利于Ti4+离子,由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化,或在低OH基团含量时,在...
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