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本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法，其能够延长引导辊的寿命，并且不蜿蜒前行地输送基板。该基板输送装置的特征在于具有：多个输送辊(2)，其与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊(4)，其在与所述输送方向垂直的方向...
该专利属于芝浦机械电子装置股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子装置股份有限公司授权不得商用。

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