下载一种高速激光器芯片结构及其制作方法的技术资料

文档序号:13051435

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本发明属于激光器技术领域,尤其涉及一种高速激光器芯片结构,包括:一衬底;一缓冲层;一第一渐变限制层;一腐蚀停止层3;一第一波导层4;一第二限制层5;一第一量子阱垒层6;一量子阱有源层7;一第二量子阱垒层8;一第二波导层9;一光栅层10;一第...
该专利属于武汉电信器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉电信器件有限公司授权不得商用。

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