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本发明提供了一种由垂直互连结构的电性能到其加工工艺参数的反演方法，其包括以垂直互连结构的传输谐振频率及对应的S11大小作为电参数输入量，以垂直互连结构的层间错位为输出，建立电性能到结构的反演预测模型；然后，再以互连结构的层间错位量作为输入，...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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