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一种以微机电系统装置所实现的压力传感器的制造方法是在半导体工艺中形成一与空腔连通的微通道、打开微通道以及在空腔的内侧表面涂布抗沾黏层后封闭微通道，使空腔维持在气密状态。因此，上述的制造方法能够大幅简化工艺，且可在气密空腔的内侧表面涂布抗沾黏...
该专利属于美商明锐光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商明锐光电股份有限公司授权不得商用。

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