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本发明提供一种传感器装置，其具有：第1构造体，其安装在测定对象物上；第2构造体，其由具有比所述第1构造体小的热膨胀系数的材料形成，底面与所述第1构造体连接；以及检测元件，其与所述第2构造体的上表面连接，对所述第2构造体的位移进行检测。...
该专利属于横河电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过横河电机株式会社授权不得商用。

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