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本实用新型公开了一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器，包括信号输入端口,信号输入端口依次串联有3阶高通LC滤波电路，3阶低通LC滤波电路，2阶低通LC滤波电路和信号输出端；信号输入端口的一端和信号输出端的一端均接地。本实用新型体积小、功率大、选...
该专利属于北京北广科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北广科技股份有限公司授权不得商用。

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