下载一种硼扩散炉及其炉门的技术资料

文档序号:13024713

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本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体,该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连,且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘,所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘,该石英挡盘...
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