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本发明提供了一种基于EFAB工艺的光耦合式微机电密码锁及其制备方法，所述密码锁包括一对密码轮，用于控制光耦合盘位置；一个光耦合盘，位于其中一个密码轮下方，用于与该密码轮配合实现光通路；两组微电机，一组传动机构，包括四个传动齿轮、两组棘轮棘爪...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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