下载一种显微3D形貌测量方法及装置的技术资料

文档序号:13021743

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本发明涉及一种显微3D形貌测量方法,步骤如下:1)分别在焦前与焦后拍摄载物台上的待测物体的图像If=If(i,j)、Ib=Ib(i,j),0≤i<I,0≤j<J;其中,I是图像总行数,J是图像总列数;2)根据如下公式计算得到待测物体在每一个...
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