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本发明公开了一种无损晶圆的湿法腐蚀保护夹具，包括相互配合以夹持晶圆的底座和顶盖，所述晶圆具有需保护的正面和待腐蚀的背面，所述底座可容纳并密封包裹所述正面，所述顶盖为环形且抵压在所述背面的边缘部位，所述底座和顶盖均通过弹性缓冲的密封件与晶圆接...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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