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本发明公开一种高次谐振型原子力显微镜微悬臂及其制作方法。其中，所述高次谐振型微悬臂包括：固定端和自由端，所述固定端和所述自由端连成一体，所述固定端的厚度比所述自由端的厚度大dμm，以使得所述高次谐振型微悬臂的高阶本征模式频率为基础模式频率的...
该专利属于国家纳米科学中心所有，仅供学习研究参考，未经过国家纳米科学中心授权不得商用。

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